技术特点:
1、自动化:实现分片自动化、传动自动化、入蓝自动化、取卸蓝自动化、移栽自动化、清洗自动化;
2、高效性:双头分片,双分片位同时工作,对应双条清洗线;
3、易操作:设备简单易学,一人同时操作两条清洗线;
4、追溯性:双工作位操作,单独清洗,可做到硅片单锭追踪;
5、稳定性:主要元器件采用进口原件,稳定、耐用;
技术规格:
硅片种类 |
单晶、多晶 |
电源 |
AC380V±15% 50/60Hz |
硅片尺寸 |
156mm(其他尺寸需说明) |
功率(Kw) |
约470 |
硅片厚度 |
145-220 |
气压(MPa) |
≥0.4 |
片盒种类 |
100片金属片盒 |
耗气量 |
2m³/h |
效率(P/h) |
大于6000 |
用水规格 |
1#纯水与市政用水 |
破损率 |
≤0.3% |
尺寸(mm) |
20000X6000X2300 |
检测范围 |
≥8mm |
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